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尾气收集处理解决方案

▌ 方案简介 / Program introduction

超日净化针对Epi(磊晶)、Poly(多晶)、PECVD、MOCVD或CVD 化学气相沉积工艺尾气的处理,同时扩大在半导体及医药领域的尾气处理应用,在吸收美国先进技术的基础上,研发出新一代CRBR型净化器,该类尾气净化处理装置主要能够处理的介质包括:硅烷SiH4、磷烷PH3、锗烷GeH4、二氧化硅SiO2、硼烷B2H6、三氟化硼BF3、一氧化二氮(笑气)N2O、八氟环丁烷C4F8、四氟化碳CF4、四氯化锗GeCl4、四氯化硅SiCl4、三氯氢硅SiHCl3、氯气Cl2、三氯化硼BCl3、四氯化碳CCl4、氯化碳CCl2、氟气F2、氢气H2、其它酸碱性尾气、粉尘等。

▌ 设计原则 / Design philosophy

废气设计处理量:每个公司生产的工艺有细微的差别,提供的尾气参数也不尽相同,但根据我公司多年治理经验,会经严格计算及放一定安全余量,保证安全最低尾气处理量,满足正常生产要求及排放的标准。

产生废水量:如果有含磷废水建议定期外运,从我们的经验来看,废水量一般不会超过2-3m³/月;如果没有含磷废水,可以直接进行酸洗中和洗涤吸收处理。 

硅酸钙等堵塞问题:我公司提供的产品对于二氧化硅、硅酸钙及其它一些粉尘的堵塞均能做到完好解决。首先在进口气处有可以不停机清理装置;其二在预处理净化室先期可净化大部分,从而保证系统不堵塞的问题;其三采用雾化喷淋段与净化功能段独立进水、喷淋、排液,无堵塞问题出现。

▌ 工作原理 / Working principle

按上述尾气特性,我公司制定简要工艺流程如下: 

废气进口→燃烧段及预洗涤功能段→多级雾化洗涤功能段→填料净化功能段→净化后的尾气出口 

尾气在引风机作用下,通过风管路进入到尾气净化装置中的燃烧段及预洗涤腔体中,自燃的尾气经预旋转水洗涤方向后沿管壁流动,进入多级雾化喷淋洗涤功能段, 配用大流量循环泵逆流式洗涤输送,再配合螺旋式高流量、不阻塞喷嘴,使塔内喷淋密度达到11~12.9m3/(m2·h),远大于正常的10m3/(m2·h),使气液二相混合呈现更加效率状态。

经过多级雾化喷淋装置进行处理后的尾气,在风机作用下压入填料层喷淋净化段功能室,将尾气平均分布在多面空心球周围,每只呈现点接触,排列“Z或W”不规则路线行走,无偏流现象,再次使尾气得到气液二相充分接触,最后尾气达到国家标准 GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》二级排放要求,经风机抽出,并通过排风管排入大气。

外延炉尾气净化器
▌ 特别说明 / Special description

某种尾气处理概况说明:若同时存在硅烷SiH4、锗烷GeH4、磷烷PH3、氧气O2、氢气H2、氩气Ar、氮气N2、三氟化硼BF3 以及微量粉尘。由于硅烷SiH4、锗烷GeH4 与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型烟雾,它对健康的危害主要是对呼吸道的损伤及自燃后火焰引起的热灼伤,严重甚至会致命;而氢气着火点为500℃,在混合空气4-75%中容易点燃并爆炸,从安全与环保角度,无论如何都必须被有效的处理,并要完全达到国家和地方的排放相应标准后才能排入大气中。


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